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掃描電子顯微鏡樣品處理有什么要求?

來源：時(shí)間：2022-11-23 17:10:09 瀏覽：2854次

掃描電子顯微鏡的優(yōu)勢(shì)為可以直接觀察非常粗糙的樣品表面，參差起伏的材料原始斷口。但其劣勢(shì)為樣品必須在真空環(huán)境下觀察，因此對(duì)樣品有些特殊要求，籠統(tǒng)的講:干燥，無油，導(dǎo)電。本篇文章整合了海量資料為大家分析掃描電子顯微鏡的樣品要求。

強(qiáng)磁材料高倍20w倍形貌

1、形貌形態(tài)，必須耐高真空

例如有些含水量很大的細(xì)胞，在真空中很快被抽干水分，細(xì)胞的形態(tài)也發(fā)生了改變，無法對(duì)各類型細(xì)胞進(jìn)行區(qū)分;

2、樣品表面不能含有有機(jī)油脂類污染物。油污在電子束作用下極端容易分解成碳?xì)浠?、?duì)真空環(huán)境造成極大污染。樣品表面細(xì)節(jié)被碳?xì)浠衔镎谏w;碳?xì)浠衔锝档土顺上裥盘?hào)產(chǎn)量:硬氫化合物吸附在電子束光路引起極大象散或吸附在探測(cè)器晶體表面，降低探測(cè)器效率。對(duì)低加速電壓的電子束干擾嚴(yán)重。

3、SEM樣品必須干燥。水蒸氣會(huì)加速電子槍陰極材料的揮發(fā)，從而極大降低燈絲壽命另外水蒸氣會(huì)散射電子束，增加電子束能量大分散，從而增大色差，降低分辨能力。

4、樣品表面必需導(dǎo)電。在大多數(shù)情況下，初級(jí)電子束電荷數(shù)量都大于背散射電子和二次電子數(shù)量之和，因此多余的電子必須導(dǎo)入地下，即樣品表面電位必須保持在0電位。如果樣品表面不與電，或者樣品接地線斷裂，那么樣品表面靜電荷存在，使得表面負(fù)電勢(shì)不斷增加，出現(xiàn)充電效應(yīng)，使圖像畸變，入射電子束減速，此時(shí)樣品如同一個(gè)電子平面鏡。

5、在某些情況下，樣品制備變成重要的考慮因素。若要檢測(cè)觀察弱反差機(jī)理，就必須消除強(qiáng)反差機(jī)理(例如形貌反差)，否則很難檢測(cè)到弱的反差。當(dāng)希望EBSD背散射電子衍射反差，I和II型磁反差或其他弱反差機(jī)理時(shí)，磁性材料的磁疇特性必需消除樣品的形貌。采用化學(xué)拋光、電解拋光等，產(chǎn)生一個(gè)幾乎消除形貌的鏡面。特殊情況:磁性材料，必須退磁。

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