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當(dāng)前位置:材料測(cè)試 ?  聲光電磁 ? 

自由曲面光學(xué)面形測(cè)試儀(NMF600S)

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自由曲面光學(xué)面形測(cè)試儀(NMF600S)

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項(xiàng)目介紹

自由曲面光學(xué)面形測(cè)試儀,尤其適用非對(duì)稱(chēng)回轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的自由曲面測(cè)量,如元件表面面形誤差分布圖,輸出PV、RMS及曲率半徑誤差等參數(shù),測(cè)量精度達(dá)到15 nm。

樣品要求

1、樣品尺寸(非球面產(chǎn)品):φ600mm以?xún)?nèi),厚度150mm以?xún)?nèi),精度15nm.

2、檢測(cè)狀態(tài):RMS=**mm,PV=**mm(pdf格式),自動(dòng)定位功能可對(duì)非球面、自由曲面、平面、凹面和凸面等各種形狀進(jìn)行短時(shí)間、高精度測(cè)量。

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自由曲面光學(xué)面形測(cè)試儀(NMF600S)

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