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顯微式激光測振儀

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顯微式激光測振儀

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項目介紹

顯微式激光測振儀(Micro System Analyzer)可用于MEMS領(lǐng)域的壓電片、三維慣導(dǎo)、壓力傳感器陣列等微小、復(fù)雜結(jié)構(gòu)的三維可視模態(tài)測試。

這種非接觸式、可視化、高精度的測試方法,代替了傳統(tǒng)的電測法,幫助用戶清楚的觀察和測量一個結(jié)構(gòu)的動態(tài)特性并準(zhǔn)確以視頻、圖片和數(shù)據(jù)的形式描述出來,

顯微式激光測振儀通過非接觸,數(shù)字顯微和目前測量動態(tài)特性及振動精度最高的 激光多普勒測振原理,快速,高效,精準(zhǔn)獲得壓電片的區(qū)域振 動數(shù)據(jù),除了傳統(tǒng)二維數(shù)據(jù)的曲線描述和分析,

還可以通過模 態(tài)動圖方式更直觀表現(xiàn),解決傳統(tǒng)電測方法不可視,精度低, 沒有過程數(shù)據(jù)無法進行研究等問題。

樣品要求

1.樣品臺200mm?200mm,高度10cm以內(nèi);

2.用于面外和面內(nèi)振動測量,振幅分辨率達(dá)亞皮米級;振幅0.5mm以內(nèi)都可測試;

3激光光斑小于4μm,橫向分辨率極高;測試距離大,可達(dá)38mm;實時振動測量,高達(dá) 25MHz 的大帶寬。

項目案例

傳感器振型三維分析圖

常見問題
1、應(yīng)用領(lǐng)域包括?

典型應(yīng)用領(lǐng)域包括:慣性傳感器,如加速度計和陀螺儀;微機電傳感器和致動器 (MEMS) ;打印機噴墨頭;壓力傳感器薄膜;耳機、微型鏡頭等。

尤其適用于MEMS領(lǐng)域的壓電片、三維慣導(dǎo)、壓力傳感器陣列等微小、復(fù)雜結(jié)構(gòu)的三維可視模態(tài)測試。

顯微式激光測振儀

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